一、原理不同:金相光學顯微鏡是利用幾何光學成像原理進行成像的，而掃描電鏡是利用細聚焦電子束在樣品表面掃描時激發(fā)出來的各種物理信號來調(diào)制成像的。用高能量電子束轟擊樣品表面，樣品表面被激發(fā)出各種物理信號，利用不同的信號探測器接受物理信號，再轉(zhuǎn)換成圖像信息。

　　二、光源不同:金相光學顯微鏡是采用可見光作為光源來成像，而掃描電鏡是采用電子束作為光源成像。

　　三、分辨率不同:金相光學顯微鏡受到可見光的干涉與衍射作用，分辨率只能局限于0.2-0.5um之間。掃描電鏡由于采用電子束作為光源，其分辨率可達到1-3nm之間，因此金相光學顯微鏡的組織觀察屬于微米級分析，掃描電鏡的組織觀測屬于納米級分析，掃描電鏡獲得的樣品信息更豐富。

　　四、景深不同:一般金相光學顯微鏡的景深在2-3um之間，因此對樣品的表面光滑程度具有*的要求，所以制樣過程相對比較復雜。掃描電鏡的景深則是金相光學顯微鏡的幾百倍，但由于其成像原理所限，要求樣品表面必須導電，因此要對樣品表面做導電處理。

　　通過以上對比，可以清楚的了解到，金相光學顯微鏡是用入射照明來觀察金屬樣品表面(金相組織)的光學顯微鏡。目前使用的金相光學顯微鏡都是將光學顯微鏡技術(shù)、光電轉(zhuǎn)換技術(shù)、計算機圖像處理技術(shù)結(jié)合在一起，能很方便的在計算機上觀察金相圖像，并利用軟件對金相圖譜進行測量、分析、評級等。還可以對圖片進行輸出、打印和存儲。金相光學顯微鏡相對掃描電鏡來說，分辨率小，放大倍數(shù)小。但金相光學顯微鏡更易操作、視場較大、價格相對更低廉。

　　掃描電鏡是電子光學儀器。相比金相光學顯微鏡放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像的分辨率高、景深大，圖象富立體感，獲得樣品信息更豐富，在應用上比金相光學顯微鏡更為深入和廣泛。